洗浄プロセス 例 - SiCウエハ CMP後の水系洗浄

SiCウエハのCMP後の水系洗浄プロセス例をご紹介いたします。

洗浄プロセス(洗浄条件)は汚れの種類・汚れの度合いなど個別の状況に応じて最適化することが重要です。

当社では洗浄剤のみだけではなく、最適な洗浄プロセスもご提案いたします。

CMP後の洗浄工程の改善や洗浄工程の新規導入でお困りのことなどございましたら、お気兼ねなくお問い合わせください。

*本ページでご紹介する洗浄プロセスは例です。全ての状況にあてはまるわけではございません。
 予めご了承ください。